椭偏盛会，相约北京——颐光科技参加“第九届国际光谱椭偏大会”

  2022年5月23日，第九届国际光谱椭偏大会（9th International Conference onSpectroscopic Ellipsometry, ICSE-9）以线上的形式在北京召开。自1993年召开第一届ICSE以来，国际光谱椭偏大会一直是世界各国与会者讨论椭偏光学新进展的地方，为从事光学椭偏研究和应用的科学家和工程师提供直接的知识交流和学术讨论机会。

本次大会是在颐光科技创始人、华中科技大学刘世元教授和中科院力学所靳刚研究员的联合申请下首次在我国召开的国际椭偏盛会，刘世元教授任本次大会组委会Program Chair。颐光科技作为本次国际椭偏大会唯一国内铂金参展商，将在本次国际会议上发布最新一代的穆勒矩阵椭偏仪产品，光谱范围覆盖深紫外至近红外（190-2500nm），光斑尺寸优于25*60μm²，达到国际最先进水平。

  本次大会华中科技大学谷洪刚博士和Weber State University Alyssa Mock博士荣获第九届国际光谱椭偏大会Paul Drude奖项，是目前国际椭偏学界最具影响力的奖项。值得一提的是，谷洪刚博士成为首次获此殊荣的华人学者，表彰其在Development of advanced Mueller matrix ellipsometry and itsapplication in 2D materials方面的贡献。颐光科技赞助第九届国际光谱椭偏大会Paul Drude奖以纪念物理学先驱Paul Drude先生在光谱椭偏领域的开创性贡献，并对两位获奖学者表示祝贺。

  颐光科技作为先进椭偏测量引领者，在本次大会上共发表2篇口头报告、1篇口头展示报告和3篇墙报，展示公司近年来在椭偏测量领域的相关进展。其中应用总监陶泽博士作了题为“Optical critical dimension measurements in advanced integrated circuit”的口头报告，介绍了公司椭偏仪产品在集成电路膜厚OCD量测中的应用；系统部经理陈军先生作了题为“Integrated application of spectroscopic ellipsometer for CMP processmonitor”的口头报告，展示了公司椭偏仪产品在半导体化学机械抛光工艺集成式膜厚在线监测中的应用。

  颐光科技预祝第九届国际光谱椭偏大会举办圆满成功，并期待下一届的椭偏盛会。颐光科技将一如既往深耕椭偏技术，为从事光学椭偏研究的科学家和工程师提供高性能的椭偏产品及解决方案。

  颐光科技成立于2013年9月，主要从事高端椭偏仪测量设备研发、制造与销售，为科研和工业用户提供纳米光学测量仪器、软件服务等综合解决方案。上海精测半导体于2020年7月完成对颐光科技的全资收购，颐光科技作为上海精测半导体全资子公司，除了向科研市场提供椭偏仪、膜厚仪等产品外，同时还向母公司提供高性能椭偏测头产品，用于母公司光学膜厚及OCD设备的研发及生产。颐光科技创始人、华中科技大学刘世元教授作为上海精测半导体聘任的首席科学家，将与上海精测半导体一同，致力于整合半导体上下游产业链，助力中国半导体检测量测装备事业的发展。