EFILM SS Series
成熟工艺薄膜计量系统

        EFILM SS Series薄膜计量系统搭载宽带椭圆偏振光谱技术（BBSE），适用最高40nm节点的薄膜厚度、折射率、应力以及OCD量测，实现纳米级精度测量与表征。系统通过多波长光学模型解析与高灵敏度探测器设计，为晶圆厂提供从研发到量产的全程薄膜质量监控，覆盖氧化层、氮化硅、金属薄膜等关键材料，确保工艺稳定性与良率控制。