EFILM E Series
化合物半导体专用计量系统

        面向第三代半导体的定制化测量平台，EFILM E Series专为GaN、SiC等宽禁带半导体及化合物材料设计，采用自适应宽带椭圆偏振光谱技术（BBSE），突破传统设备对异质结、超薄外延层的测量局限。系统支持高温、高应力环境下的薄膜参数实时分析，满足功率器件、射频芯片等高端应用对界面特性与膜层均匀性的严苛要求，助力第三代半导体量产工艺开发。