EFILM IM Series 集成式膜厚测量系统
EFILM IM Series提供出色的计量性能、埃级工具匹配、极高的吞吐量和出色的可靠性。结合尖端的建模功能，该量测方案支持 CMP 和刻蚀中广泛的前端和后端在线测量工艺，同时广泛部署在领先逻辑和存储器制造商的高级节点中。
品 质 赢 得 信 赖 科 技 创 造 未 来
