EPROFILE IM Series
集成式光学关键尺寸和形貌测量系统

        EPROFILE IM Series是一款集成式光学关键尺寸（OCD）测量平台产品，它采用椭偏光谱技术，在最先进制程节点的Logic、DRAM和 3D-NAND 芯片制造中提供实时薄膜厚度与关键尺寸数据。该平台支持先进制程控制（APC），能够以高产率、高可靠性的方式监控化学机械抛光（CMP）和蚀刻制程，降低晶圆间差异。