TG IF Series
裸晶圆几何形貌测量系统

        TG IF Series是一种用于测量无图形晶圆形貌及应力的设备。它通过高精密的光学系统同时获取晶圆正背两面的几何数据，可提供行业内领先的纳米形貌和平坦度检测。TG IF测量系统对集成电路和晶圆制造商都有帮助，使晶圆的平坦度更加合规，满足用户的过程检和终检需求。