TG DP Series
图形片几何形貌测量系统

        TG DP Series图案化晶圆计量平台为先进的 3D NAND、DRAM 和逻辑制造商提供全晶圆致密形状、全面的晶圆平整度和双面纳米拓扑数据。TG DP Series具有高分辨率和高密度采样功能，可测量应力引起的晶圆形状变化、晶圆形状引起的图形覆盖误差、晶圆厚度变化以及晶圆正面和背面形貌。