TG LS Series 线扫式几何形貌测量系统
TG LS Series是一种线扫式的晶圆形貌及应力测量设备。其核心部件是PMISH专利的LSSR。和传统的点光谱测量技术不同，通过线形光斑和高光谱面阵相机，可以一次采集数千个点的光谱进行计算，从而提高测量效率和采样密度。
品 质 赢 得 信 赖 科 技 创 造 未 来
