TG E Series 点扫式几何形貌测量系统
TG E Series是一种基于位移传感器的晶圆形貌及应力测量设备。经由位移传感器获取镀膜前后晶圆表面的高度曲线，得到衬底曲率的变化，再依据曲率变化通过力学公式计算薄膜应力。
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