SCALE EPI Series
外延层原位计量系统

        基于FTIR技术的高精度外延工艺监控方案，SCALE EPI Series集成傅里叶变换红外光谱（FTIR）与先进算法，实现外延层厚度及元素浓度的非破坏性快速检测。系统可对多层外延进行量测，兼容对B,P,C,O等元素浓度进行量测，支持从供应链质量控制（测试晶圆）到量产工艺腔室监控（产品晶圆）的全流程数据闭环，为碳化硅外延、硅基异质集成等前沿工艺提供实时反馈与工艺优化依据。