J-Metron 3100 Series
汞探针CV量测系统

        J-Metron 3100 Series是采用电容-电压法测试硅外延层载流子浓度的汞接触式晶圆测试设备。J-Metron 3100 Series可用于测试载流子浓度分布、C-V特性等电学参数，为前道开发工艺和工艺监测应用提供高度可重复的CV和IV测量。