J-Metron 3200 Series
四探针电阻率量测系统

        J-Metron 3200 Series能够对半导体材料电阻率及晶圆方片电阻进行快速且准确的测量。J-Metron 3200 Series专用于前道制程中半导体材料电阻率和方块电阻的测量,为材料研发、工艺监控提供可靠的数据支持。