AeroScan Series
落地式桌面FIB-SEM分析及TEM样品制备系统

        AeroScan Series双束系统，集SEM和FIB于一体，两者的结合，在保留原有SEM超高分辨率和FIB优异的微纳加工能力的基础上，可以实现原位的微纳加工。其中，半导体领域为其最主要的应用领域之一，可用于IC芯片缺陷分析、修复和TEM样品制备。