J-Fleet Manager System
设备群管理系统

        J-Fleet Manager System旨在满足晶圆厂计量和工艺工程师的需求和工作方法。它是用于管理大型计量工具群的综合解决方案，实现Recipe统一管理，Data在线和离线分析等，可在大批量生产环境中提供高生产率、运营效率和更好的性能。