eMetric Series
电子束线宽量测系统

        eMetric Series是上海精测半导体的本土研发团队自主研发的电子束晶圆关键尺寸量测设备（CD-SEM），主要产品包括适用于6/8/12寸晶圆的eMetric 150/200/1000等型号，具有包括扫描电子显微镜在内的核心零部件的全部自主知识产权。该产品具备百兆赫兹级高速高通量电子束图像采集速度、高速高精度高可靠性的实时自动聚焦能力和多样化功能齐全的量测算法，单点量测时间（MAM）和重复量测精度都达到了国际同类产品的先进水平。超大范围的电子束流和量测视场的调节能力，可满足从微米小视场到百微米级大视场的截然不同的量测需求。同时，为提高量测速率专门设计的高度灵活的智慧型量测点寻址功能（Smart Addressing），可在保证量测点定位精度的同时最大程度地提高设备吞吐量。凭借先进的成像技术和高度自动化的对多层级目标尺寸的在线量测能力，eMetric Series将为半导体制程提供高效的解决方案。