eMetric HV Series
高压电子束线宽量测系统

        eMetric HV Series具备低至数百伏、高至大于30kV的超大范围可调电子束着陆能量，可实现在线In-die/chip See-Through套刻量测和高深宽比深孔/沟槽底部特征尺寸缺陷量检测。可为高级 DRAM、超过 96 层 3D NAND、逻辑器件实现高速和高精度的套刻测量和高深宽比制程工艺监控和改善。