eSpec Series
电子束缺陷检测系统

        eSpec Series是大视场高解析度晶圆缺陷量测和检测设备（EBI），主要产品包括适用于12寸晶圆的eSpec 1000型号，具有包括扫描电子显微镜在内的核心零部件的全部自主知识产权。该产品具备1nm高解析度，具备大视场，大范围的电子束流和检测视场的调节能力，可针对极微小(<10纳米)尺寸缺陷进行有效扫描检测。具备百兆赫兹级高速高通量电子束图像采集速度和多样化功能齐全的量测算法，可实现百万级别数据量测能力，且提供准确LCDU/EPE量测和结果分析，低至数百伏、高至万伏级的超大范围可调电子束着陆能量，可实现高深宽比特征尺寸和材料缺陷扫描检测。同时，为提高缺陷量检测灵敏度和杂讯压制能力，通过Die-to-GDS算法实现高度灵活客制化的检测区域，可在保证检测点定位精度的同时最大程度地提高缺陷检出率。凭借先进的成像技术和高度自动化的对多层级目标尺寸的在线量检测能力，eSpec Series将为半导体制程提供高效的解决方案，满足14nm及以下集成电路工艺制程需求。